功能介绍  

随着越来越多的复杂高精密零部件应用于航空航天、船舶、消费电子等领域，高精密铣削加工受到日益广泛的研究和应用。研究上述领域关键零件精密铣削加工中刀具磨损状态、工件表面形貌等，是保证零件尺寸精度及表面质量的重要关键。Zeiss Smartproof5 共聚焦显微镜以其成像质量高、效率快、分辨率高的特点被广泛应用于高精密机械加工中对零件表面以及刀具的观测。

 主要技术参数  

1.测量范围：X/Y/Z 150mm×150mm×5mm

2.测量速度：最大扫描速度达到80mm/s

3.扫描分辨率：2048*2048pixels

4.XY准确度：测量值得±2%以内

5.XY重复性：20nm

6.Z轴准确度：±0.1um±0.008×L（L=测量长度）

7.Z轴重复性：10nm

8.Z轴步进：1nm

  应用示例  

测量微细刀具刃口几何形貌	测量微细加工刀具磨损状态	测量材料表面微观形貌