数字制造装备与技术国家重点实验室

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高性能电子制造装备与技术研究平台

发布时间:2015年12月02日 作者: 浏览次数:

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FC250型贴片机

2

亚微米倒装键合设备

3

光刻机自动对准系统

4

推拉力测试仪

5

广义光谱椭偏仪

6

红外反射光谱测量平台

7

泰勒轮廓仪

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电流体喷印实验平台

9

原子力显微镜

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钨灯丝扫描电子显微镜

11

四级杆质谱仪

12

惰性氛围手套操作箱

13

原位椭偏原子层沉积系统

14

原子层沉积系统

15

旋转流化床粉体原子层沉积系统

16

振动流化床原子层沉积系统

17

流化原子层沉积系统

18

芬兰Picosun SUNALE R-200原子层沉积系统

19

数字全息显微镜

20

氦质谱检漏仪

21

超薄切片机

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