数字制造装备与技术国家重点实验室

主要研究人员

周云飞
专业:机械学
职称:教授/博导
办公电话:027-87544214
电邮:yfzhou@mail.hust.edu.cn

详细资料

1956年生,浙江临海人。1982年毕业于浙江大学机械系,1989和1993年于华中理工大学获硕士、博士。曾在研究所、企业工作,1993年博士毕业留校工作,1995年1月由讲师破格晋升研究员,1998年任博士生导师。入选湖北省有突出贡献中青年专家,湖北省科技精英,国家百千万人才计划,华中科技大学特聘教授与华中学者特聘教授。

主要研究经历:主持语主研完成国家级项目10余项。“八五”期间,主研开发华中I型数控系统,已进入产业发展,成果获1999年中国高校十大科技进展与2000年国家科技进步二等奖;“十五”期间,参加国家重大项目“100nm步进扫描投影光刻机”研发,负责超精密运动控制系统研制,完成的由7个多处理器并行的运动控制器与控制算法软件,实现定位精度10nm,硅片台与掩模台两台同步运动精度MA<5nm 、msd<12nm。(国外比喻相当于两架时速为1000公里的波音747,飞行中相对位置误差小于10微米),为我国首台高精度光刻机的研发作出贡献,2012年获国家技术发明二等奖。此外,获省部级科技奖励一等奖3项、二等奖2项。

在国内外期刊发表论文100余篇。指导出站博士后6名,毕业博士20余名、硕士多名。

 

科研成果

承担的科研项目:

1. 磁浮平面电机高效电磁结构与精密控制方法研究,国家自然科学基金,80万,2014-2018;

2. 双工件台运动控制系统硬件研发,国家重大科技专项,1029万,2009-2014;

3. 面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究,国家自然科学基金,30万,2007-2011;

4. 100nm步进扫描光刻机工件台掩膜台超精密运动与同步控制子系统研发,国家 863重大项目,620万,2004-2008.

荣誉与奖励:

1. 2012年国家技术发明二等奖:纳米精度多自由度运动系统关键技术及其应用;

2. 2000年国家科技进步二等奖:华中I型数控系统;

3. 2006年教育部自然科学奖一等奖:多足步行机器人运动规划与控制的研究;

4. 2005年湖北省自然科学二等奖:多足步行机器人运动控制的研究;

5. 1999年教育部科技进步(推广)一等奖:华中I型数控系统的应用推广;

6. 1998年国家机械局科技进步二等奖:多坐标曲面的直接插补技术及应用;

7. 1997年国家教委科技进步一等奖:华中I型数控系统。

代表性著作:

1) Junrong Peng、Yunfei zhou、Guangdou Liu,Calculation of a New Real-time Control Model for the Magnetically Levitated Ironless Planar Motor,IEEE Transactions on Magnetics,VOL. 49, NO. 4, APRIL 2013

2) Junrong Peng, Yunfei Zhou. Modeling and Analysis of a New 2-D Halbach Array for Magnetically Levitated Planar Motor. IEEE Transactions on Magnetics, Vol.49, No.1,618-627,Jan. 2013. (SCI,EI)

3) Hai-Hua Mu,Yun-fei Zhou,Xin Wen,et al.Calibration and compensation of cogging effect in a permanent magnet linear motor. Mechatronics.2009, Vol.9,No.4,pp 577-585.(SCI;EI)

4) Haihua Mu,Yunfei Zhou,Sijie Yan,et al.Third-order trajectory planning for high precision point-to-point motion. Frontiers of Electrical and Electronic Engineering in Chain.vol.4,No.1,pp 83-87,2009年.

5) Zhou Yunfei, Han Aiguo etc, A fast method for online closed-loop system identification, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, November, 2006, p78-84

6) Yunfei Zhou, Bao Song etc,Position/force control with a lead compensator for PMLSM drive system, International Journal of Advanced Manufacturing Technology, October, 2006, p1084-109

7) Zhou yunfei,Li Shuijin etc, A new fuzzy neural network with fast learning algorithm and guaranteed stability for manufacturing process control, Fuzzy Sets and Systems, Dec 1, 2002, p 201-216;8

8) Zhou Yunfei, Li Bin, Research on the method of precision evaluation and controlling for the cutter location path in five-axis machining ,International Journal of Advanced Manufacturing Technology, August,2005,p342-3509

9) Li Bin, Zhou Yunfei, Tang Xiaoqi, A research on open CNC system based on architecture/component software reuse technology, Computers in Industry, v 55, n 1, September, 2004, p 73-85

10) Dai Yi, Zhou Yunfei, Jia Yazhou, Distribution of time between failures of machining center based on type I censored data, Reliability Engineering and System Safety, v 79, n 3, Mar 1, 2003, p 377-379

11) Yunfei Zhou, Bao Song et,Position/force control with a lead compensator for PMLSM drive system, International Journal of Advanced Manufacturin

12) 穆海华,周云飞,周艳红.洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模.中国电机工程学报.Vol.29,No.15,pp95-100,2009。(EI)

13) 穆海华, 周云飞, 周艳红. 步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制,机械工程学报,第46卷,第2期,166-170页,2010年1月。.

14) 穆海华,周云飞,周艳红,光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法,机械工程学报,46卷,第7期,122-127页,2010年4月。

15) 穆海华,周云飞,温新等.直线电机齿槽推力波动的标定与补偿方法.电机与控制学报. 2009,第13卷,第5期,pp 721-727.(EI)

 

研究方向

数控技术

精密运动控制

伺服电机与驱动

 

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