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高性能电子制造装备与技术研究平台

发布时间:2015年12月02日 作者: 浏览次数:2182

 

1

FC250型贴片机

 

2

亚微米倒装键合设备

 

3

光刻机自动对准系统

4

推拉力测试仪

5

广义光谱椭偏仪

 

6

红外反射光谱测量平台

7

泰勒轮廓仪

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电流体喷印实验平台

9

原子力显微镜

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钨灯丝扫描电子显微镜

11

四级杆质谱仪

 

12

 惰性氛围手套操作箱

13

原位椭偏原子层沉积系统

14

原子层沉积系统

 

15

 旋转流化床粉体原子层沉积系统 

16

振动流化床原子层沉积系统

 

17

流化原子层沉积系统

18

 

芬兰Picosun SUNALE R-200原子层沉积系统

 

19

数字全息显微镜

  

20

氦质谱检漏仪

21

超薄切片机

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

                                

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