主要研究人员

刘世元
专业:机械学
职称:教授/博导
办公电话:027-87559543
电邮:shyliu@mail.hust.edu.cn

详细资料

     1970年9月出生,博士,教授,博士生导师,国家杰出青年科学基金获得者,教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者。美国光学学会(OSA)、美国真空学会(AVS)、国际光学工程学会(SPIE)、国际电气电子工程学会(IEEE)会员,中国微米纳米技术学会(CSMNT)理事,中国光学学会(COS)光学测试专业委员会委员,中国计量测试学会(CSM)计量仪器专业委员会委员。Optics Letters, Optics Express, Journal of the Optical Society of America A, Sensors and Actuators A, Thin Solid Films等国际期刊审稿人。

     1998年毕业于华中理工大学机械制造专业,获工学博士学位。2000年至2001年赴英国曼彻斯特大学进行为期1年的访问与客座研究。2002年至2005年在上海微电子装备有限公司及国家光刻工程技术研究中心,从事国家863重大专项“100nm分辨率步进扫描投影光刻机”的攻关研制。2006年获教育部“新世纪优秀人才支持计划”。现任华中科技大学机械科学与工程学院教授、数字制造装备与技术国家重点实验室教授、武汉光电国家实验室(筹)微纳制造研究部教授、博士生导师。

     近年来主持了包括国家杰出青年科学基金、国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金、国家863项目和国家科技重大专项在内的10余项国家级科研项目。组建并带领纳米光学测量研究组(http://www2.hust.edu.cn/nom/index_chinese.html),在微纳测试技术、纳米光学测量、光学精密仪器、微纳制造技术、步进扫描投影光刻机基础理论与关键技术等方面开展了卓有成效的研究,取得了一批有影响的研究成果。在Appl. Phys. Lett.、Opt. Express、Opt. Lett.等著名期刊发表SCI论文75篇,SCI他引342次;申请美国专利3件、中国发明专利42件,获授权25件;重要国际会议大会/特邀报告13次,担任组委会主席成功举办“第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会”;排名第一获第43届日内瓦国际发明金奖。

 

 

科研成果

     先后主持了包括国家自然科学基金、国家重大科学仪器设备开发专项、国家863计划、国家科技重大专项子课题等在内的10余项国家级科研项目。组建并带领先进光刻与纳米测量研究组,在微纳测试技术、光学精密仪器、微纳制造技术、步进扫描投影光刻机基础理论与关键技术等方面开展了卓有成效的研究

 

研究方向

微纳测试技术及设备

纳米光学测量及仪器

光刻成像理论及应用

 

 

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